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光刻膠刻蝕可靠性分析設(shè)備采購(gòu)公告

上海-上海-上海市狀態(tài)：公告

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2023年12月01日

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光刻膠刻蝕可靠性分析設(shè)備采購(gòu)公告

項(xiàng)目編號(hào)：****

根據(jù)《****采購(gòu)管理辦法（試行）》和《****貨物和服務(wù)快速采購(gòu)實(shí)施細(xì)則》，********學(xué)院因教學(xué)、科研需要，現(xiàn)以上大迅采方式采購(gòu)光刻膠刻蝕可靠性分析設(shè)備。

【迅采公告特別提示】
1、所有響應(yīng)供應(yīng)商所提交的支撐材料均須加蓋紅色供應(yīng)商公章（供應(yīng)商公章為黑色復(fù)印件、加蓋合同專用章等其他印章的均不予認(rèn)可），否則視為無(wú)效材料。
2、如貨物生產(chǎn)商與響應(yīng)供應(yīng)商不一致的，響應(yīng)佐證材料可僅加蓋響應(yīng)供應(yīng)商公章且保障售后服務(wù)能力。不得僅加蓋生產(chǎn)商公章，否則不予認(rèn)可并視為無(wú)效響應(yīng)，可同時(shí)加蓋生產(chǎn)商與響應(yīng)供應(yīng)商公章。
3、所有響應(yīng)供應(yīng)商如對(duì)于已發(fā)布的迅采公告中的技術(shù)參數(shù)、服務(wù)需求、公告附件中的內(nèi)容有疑問(wèn)的，請(qǐng)?jiān)陧憫?yīng)前聯(lián)系采購(gòu)需求聯(lián)系人進(jìn)行充分的溝通和交流。如成交供應(yīng)商因未聯(lián)系采購(gòu)需求人導(dǎo)致對(duì)于采購(gòu)需求存在重大誤解而未能在指定期限內(nèi)保質(zhì)保量交付或完成的，采購(gòu)人有權(quán)向成交供應(yīng)商追究責(zé)任并要求支付賠償金。（適用于除家具以外的貨物類與服務(wù)類項(xiàng)目）
4、由于家具類項(xiàng)目較為特殊、如本項(xiàng)目為家具類項(xiàng)目，響應(yīng)供應(yīng)商原則上應(yīng)當(dāng)在響應(yīng)前主動(dòng)聯(lián)系采購(gòu)需求聯(lián)系人，充分了解項(xiàng)目相關(guān)需求，必要時(shí)采購(gòu)需求聯(lián)系人可要求潛在供應(yīng)商在響應(yīng)前現(xiàn)場(chǎng)實(shí)地踏勘或測(cè)量等。如成交供應(yīng)商因未聯(lián)系采購(gòu)需求人導(dǎo)致對(duì)于采購(gòu)需求存在重大誤解而未能在指定期限內(nèi)保質(zhì)保量交付并完**裝驗(yàn)收的，采購(gòu)人有權(quán)向成交供應(yīng)商追究責(zé)任并要求支付賠償金。（適用于家具類項(xiàng)目）
5、如本迅采項(xiàng)目需求文件中提到公告附件的，供應(yīng)商需要先在采購(gòu)管理系統(tǒng)中進(jìn)行注冊(cè)，注冊(cè)成功并報(bào)名本項(xiàng)目后，可在本項(xiàng)目的響應(yīng)界面查詢并下載其公告附件。
6、若本項(xiàng)目需要采購(gòu)的是儀器設(shè)備的，供應(yīng)商所提交的儀器設(shè)備清單中不得****市政府集中采購(gòu)目錄內(nèi)商品，若有則整單將視為無(wú)效響應(yīng)，將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。
7、若本項(xiàng)目需要采購(gòu)的是儀器設(shè)備的，所采購(gòu)的儀器設(shè)備均為國(guó)產(chǎn)設(shè)備，無(wú)進(jìn)口設(shè)備。如供應(yīng)商提交響應(yīng)的儀器設(shè)備包含有進(jìn)口設(shè)備的，視為無(wú)效響應(yīng)，將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。（無(wú)論該設(shè)備現(xiàn)在何處，****海關(guān)清關(guān)結(jié)算的均判定為進(jìn)口設(shè)備）。
8、供應(yīng)商所有提交的響應(yīng)材料均須為中文文件，若原為外文說(shuō)明書(shū)等佐證材料的，供應(yīng)商需要同時(shí)附上中文翻譯件。如供應(yīng)商僅提交外文響應(yīng)文件的，該指標(biāo)視為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。
9、供應(yīng)商所有提交的響應(yīng)文件落款日期均需要在本項(xiàng)目公告期內(nèi)，否則整單將視為無(wú)效響應(yīng)，將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。情節(jié)嚴(yán)重的將被認(rèn)定為提前泄露項(xiàng)目信息并嚴(yán)肅處理。（若本項(xiàng)目非第一次公告的，響應(yīng)文件落款日期以本公告為準(zhǔn)，不得直接使用往期落款日期的響應(yīng)文件）。
10、供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)的響應(yīng)操作、響應(yīng)說(shuō)明、加蓋公章的附件證明須保持完全一致。
11、本項(xiàng)目若由采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)承辦的，項(xiàng)目服務(wù)費(fèi)需要由成交供應(yīng)商直接向采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)支付，計(jì)費(fèi)依據(jù)與采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)支付信息詳見(jiàn)本公告下方內(nèi)容。

一、供應(yīng)商資質(zhì)要求

1、符合政府采購(gòu)法第二十二條之供應(yīng)商資格規(guī)定。

2、供應(yīng)商未被列入“信用中國(guó)”網(wǎng)站（www.****.cn）失信執(zhí)行人名單、重大稅收違法案件當(dāng)事人名單，****政府采購(gòu)網(wǎng)（www.****.cn）政府嚴(yán)重違法失信行為記錄名單的供應(yīng)商。

二、項(xiàng)目概況

項(xiàng)目編號(hào)： ****項(xiàng)目名稱：光刻膠刻蝕可靠性分析設(shè)備預(yù)算金額：283000元

第一輪公告及報(bào)價(jià)響應(yīng)時(shí)間：2023-12-01 17:00:00 ~ 2023-12-06 17:00:00

第二輪公告及報(bào)價(jià)響應(yīng)時(shí)間：2023-12-06 17:00:00 ~ 2023-12-09 17:00:00（如有）

（以****采招辦官網(wǎng)首頁(yè)各項(xiàng)目顯示的倒計(jì)時(shí)截止時(shí)間為準(zhǔn)，如第一輪已完成響應(yīng)提交的，無(wú)需在第二輪重復(fù)提交）

交貨期：7日交貨地點(diǎn)：******校區(qū)

采購(gòu)需求聯(lián)系人：陶大燎聯(lián)系電話：176****4089

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)：****

聯(lián)系人：郭婷婧聯(lián)系電話：021-****9798-103

聯(lián)系地址：**市**區(qū)**路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室

采招辦監(jiān)督員：謝金印監(jiān)督電話：****0721

采購(gòu)清單

采購(gòu)內(nèi)容/設(shè)備名稱參考品牌規(guī)格配置明細(xì)預(yù)算（人民幣/元）采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位總價(jià)

光刻膠刻蝕可靠性分析設(shè)備

*腔體尺寸：石英玻璃，直徑150mm*高度130mm*靶材尺寸：直徑57mm*0.1mm適用靶材：貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pd、Pt-Pd等樣品臺(tái)可調(diào)高度：20-50mm *樣品臺(tái)尺寸：直徑65mm

283000

臺(tái)

283000

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)名稱是否需要附件證明評(píng)分等級(jí) 參數(shù)說(shuō)明

勻膠模塊	是	核心指標(biāo)	1）轉(zhuǎn)速范圍：20-10000RPM范圍，轉(zhuǎn)速精度及重復(fù)性：≤±1RPM；2）加速度可控范圍：20-50000RPM/S（空載）；3）可處理基片尺寸范圍：≤1CM至8寸圓形底物區(qū)間；4）旋涂均勻性：≤±3% ；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
加熱（烤膠）模塊	是	核心指標(biāo)	1）控溫精度：≤±0.2℃；溫度均勻性：200℃以下≤±1%，200℃~300℃≤±1.5% ；2）處理基片尺寸：可以處理≤8英寸基片；3）電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度：0-20mm；頂針高度分辨率：≤0.1mm；頂針可使用底物直徑≥40mm/120mm圓晶，特殊要求可定制；4）外型尺寸：≥360mm(W)530mm(D)415mm(H)；5）帶抽風(fēng)、充氮?dú)饣騂MDS預(yù)處理等功能；6）帶線性升溫功能；7）觸屏控制和可帶plc 遠(yuǎn)程控制設(shè)備；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
磁控濺射模塊	是	核心指標(biāo)	1）腔體尺寸：石英玻璃，直徑≥150mm，高度≥130mm；2）供電規(guī)格：AC220V，200W；電壓：Max 500V；電流：Max 60mA；3）靶材尺寸：≥直徑57mm*0.1mm；適用靶材：貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pd、Pt-Pd等；4）樣品臺(tái)可調(diào)高度：20-50mm區(qū)間；樣品臺(tái)尺寸：≥直徑65mm；工作真空度：1-10Pa區(qū)間；5）氣體路數(shù)：?jiǎn)温�；補(bǔ)氣流量：手動(dòng)調(diào)節(jié)；6）需配備真空泵； 7）控制:觸屏控制和可帶遠(yuǎn)程PLC控制設(shè)備；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
紫外臭氧清洗模塊	是	核心指標(biāo)	1）燈管壽命：≥8000h；2）燈管光譜：185nm+254nm；4）可處理基片尺寸：≥200*200mm；照射高度≥35mm；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
人機(jī)界面模塊	是	非核心指標(biāo)	顯示觸控面積≥7寸；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
真空管路模塊	是	非核心指標(biāo)	勻膠僅在真空負(fù)壓≤-0.04MPA 時(shí)才允許電機(jī)進(jìn)行旋涂工作，確保底物在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中被真空載物盤牢固吸附。(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
干燥模塊	是	非核心指標(biāo)	1）控溫范圍：室溫-300℃區(qū)間；2）溫度分辨率：≤0.1℃；(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等材料予以佐證，響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的，視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)

資質(zhì)要求

要求名稱是否需要附件證明要求說(shuō)明

營(yíng)業(yè)執(zhí)照（三證合一）	是	請(qǐng)上傳相關(guān)證明材料(須加蓋供應(yīng)商公章)
信用中國(guó)證明	是	信用信息報(bào)告日期最早應(yīng)為本項(xiàng)目迅采公告發(fā)布之日(須加蓋供應(yīng)商公章)

商務(wù)要求

要求名稱是否需要附件證明要求說(shuō)明評(píng)分內(nèi)容

同類業(yè)績(jī)	是	供應(yīng)商需提供自2020年1月起至今的同類貨物的銷售合同，其中需體現(xiàn)合同的簽約主體、銷售貨物名稱、簽訂日期等合同要素的相關(guān)內(nèi)容。同類業(yè)績(jī)合同供應(yīng)商需分列填報(bào)上傳，合并文件填報(bào)或集中填報(bào)在同一格子內(nèi)的算1份業(yè)績(jī)。
培訓(xùn)計(jì)劃	是	到貨后14天內(nèi)供應(yīng)商提供面向不少于5人、不低于48小時(shí)的線上或現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)指導(dǎo)，供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)提供詳細(xì)的培訓(xùn)計(jì)劃。
質(zhì)保期	是	自到貨并驗(yàn)收合格之日起，最低要求質(zhì)保期3年。	3年4年5年及以上
付款方式	是	合同簽訂后支付20%，貨到學(xué)校，驗(yàn)收合格并簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告后支付80%
交貨期	是	在簽訂合同后7日內(nèi)交貨。

三、質(zhì)量保證與售后服務(wù)（貨物類）

1、質(zhì)保期為自用戶簽署最終驗(yàn)收?qǐng)?bào)告之日起，在質(zhì)保期間出現(xiàn)故障，供應(yīng)商在接收到用戶通知后于1小時(shí)以內(nèi)予以回應(yīng)、提出解決方案，4小時(shí)內(nèi)維修人員到場(chǎng)，72小時(shí)排除故障（特殊情況和不可抗拒因素除外）。在此期間，設(shè)備發(fā)生任何非誤操作造成的故障和損壞，均由供應(yīng)商負(fù)責(zé)免費(fèi)修復(fù)，失效零件予以免費(fèi)更換，更換時(shí)所發(fā)生的費(fèi)用均由供應(yīng)商負(fù)擔(dān)。質(zhì)量保證期內(nèi)，停機(jī)待修時(shí)間不得超過(guò)一個(gè)月，若超過(guò)一個(gè)月，則保修期**待機(jī)時(shí)間的3倍。同時(shí)，提供軟件免費(fèi)升級(jí)。

2、****學(xué)校后7天內(nèi)由供應(yīng)商負(fù)責(zé)免費(fèi)安裝、調(diào)試與技術(shù)培訓(xùn)，調(diào)試儀器所需耗材由供應(yīng)商自行負(fù)擔(dān)。儀器安裝、調(diào)試時(shí)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)軟硬件使用的培訓(xùn)：參與培訓(xùn)人員3～5人；內(nèi)容：設(shè)備的工作原理、操作步驟、正常維護(hù)和應(yīng)用等，使培訓(xùn)人員能夠正確、熟練操作及掌握儀器簡(jiǎn)易的故障判別及排除、維修。培訓(xùn)****公司專職技術(shù)人員，不得派出學(xué)生****公司專職技術(shù)人員提供培訓(xùn)，否則用戶方將拒絕接受。

3、供應(yīng)商根據(jù)合同提供的貨物應(yīng)是全新的未使用過(guò)的而且是符合國(guó)家有關(guān)制作標(biāo)準(zhǔn)和環(huán)保要求。供應(yīng)商提供詳細(xì)的中文操作、維護(hù)指南。

4、定期維護(hù)，終身保修，只收取零部件成本費(fèi)。

四、供應(yīng)商須知

1、供應(yīng)商須先完成并通過(guò)供應(yīng)商注冊(cè)，方可進(jìn)行響應(yīng)。注冊(cè)網(wǎng)址：https://czb.****.cn/

2、供應(yīng)商應(yīng)具有連續(xù)多年從事該設(shè)備生產(chǎn)或銷售經(jīng)歷，并有良好的聲譽(yù)，且能提供良好的技術(shù)支持。

3、供應(yīng)商應(yīng)完全按照標(biāo)書(shū)規(guī)定的設(shè)備名稱、技術(shù)要求、數(shù)量報(bào)價(jià)、供貨，我方不接受不確定報(bào)價(jià)。

4、供應(yīng)商應(yīng)保證隨設(shè)備提供必要的安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、維修等服務(wù)，并提供合同所約訂的免費(fèi)維修時(shí)間及終身成本維修。

5、響應(yīng)報(bào)價(jià)中標(biāo)明的價(jià)格或在評(píng)審后確定的價(jià)格在合同執(zhí)行過(guò)程中是固定不變的（除非采購(gòu)人對(duì)設(shè)備提出新的要求）不得以任何理由予以變更。

6、供應(yīng)商應(yīng)在響應(yīng)文件中注明貨物的交貨期。

7、若成交供應(yīng)商的報(bào)價(jià)超出本次項(xiàng)目的經(jīng)費(fèi)預(yù)算，采購(gòu)人有取消本次采購(gòu)的權(quán)利。

8、供應(yīng)商須登錄上大迅采系統(tǒng)對(duì)每一項(xiàng)要求項(xiàng)進(jìn)行一一響應(yīng)，提交證明和支撐材料（加蓋單位公章），無(wú)證明和支撐材料視為沒(méi)有響應(yīng)。

9、響應(yīng)供應(yīng)商須保證所提交的響應(yīng)文件、資料的內(nèi)容真實(shí)、完整、有效、一致，如遞交虛假的響應(yīng)文件、資料或填寫(xiě)信息錯(cuò)誤導(dǎo)致的與本項(xiàng)目有關(guān)的任何損失由供應(yīng)商承擔(dān)。

五、匯款信息與代理服務(wù)費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

1、匯款信息

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)名稱：****

****銀行（人民幣）：****銀行**斜橋支行

賬號(hào)（人民幣）：310********050010790

戶名：********公司

2、代理服務(wù)費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

1980號(hào)文下浮37%，每個(gè)項(xiàng)目下限為2500.00元人民幣，具體金額以成交公告為準(zhǔn)，由成交供應(yīng)商直接向代理機(jī)構(gòu)支付。

****

2023-12-01

未注冊(cè)單位請(qǐng)先，注冊(cè)成功并審核通過(guò)后才能報(bào)名。

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項(xiàng)目查詢服務(wù)

·讓您全面及時(shí)掌握全國(guó)各省市擬建、報(bào)批、立項(xiàng)、施工在建項(xiàng)目的項(xiàng)目信息

·幫您跟對(duì)合適的項(xiàng)目、找對(duì)準(zhǔn)確的負(fù)責(zé)人，全面掌握各項(xiàng)目的業(yè)主單位、設(shè)計(jì)院、總包單位、施工企業(yè)的項(xiàng)目經(jīng)理、項(xiàng)目負(fù)責(zé)人的詳細(xì)聯(lián)系方式

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項(xiàng)目定制服務(wù)

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