深圳大學(xué)原子層沉積設(shè)備意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 原子層沉積設(shè)備 預(yù)算金額(元): 2,196,000.000 采購品目: 教學(xué)儀器 采購需求概況: 原子層沉積設(shè)備是一種先進(jìn)的薄膜沉積儀器,其核心功能在于實(shí)現(xiàn)沉積參數(shù)(包括厚度、成份和結(jié)構(gòu))的高度可控。通過交替引入前驅(qū)體并化學(xué)吸附反應(yīng),設(shè)備能在原子級(jí)別上逐層構(gòu)建薄膜,確保所制備的薄膜具有很高的...( 輻射儀器 在正文中 )